研祥智能工业AI计算机，破局半导体晶圆缺陷检测

芯片制造有多难?研祥答案，可能藏在一片小小的工业晶圆里。在一块指甲盖大小的计算机破局半晶圆检测芯片背后，是导体成百上千精密工艺的叠加。如今，缺陷3nm、研祥2nm制程不断推进，工业芯片越来越小，计算机破局半晶圆检测性能却越来越强，导体但制造难度也随之攀升。缺陷一粒肉眼看不见的研祥颗粒，一处细微划痕、工业一次图形异常，计算机破局半晶圆检测都可能影响芯片性能，导体甚至导致整片晶圆报废。缺陷

随着AI、高性能计算等需求爆发，全球半导体产业迎来新一轮增长周期。同时，国产半导体制造也在加速突破，对设备精度、生产效率和良率控制提出了更高要求。

芯片制造过程中，晶圆缺陷检测成为决定芯片制造成败的重要环节。

半导体晶圆检测为什么难？

晶圆检测，看似是在“找问题”，实际上面对的是一场高速、高精度的较量。当前半导体晶圆检测主要面临三大挑战：

①缺陷越来越小：颗粒污染、表面划痕、图形异常等微小缺陷，需要更高精度的检测能力。

②数据量越来越大：高分辨率检测过程中，单片晶圆可产生TB级图像数据，系统需要在毫秒级完成缺陷定位、分类和判断。

③生产环境越来越复杂：生产环境通常要求设备长期稳定运行，检测系统不仅需要高性能，更需要工业级可靠。

因此，晶圆检测系统不仅需要高精度的检测设备，也需要强大的计算平台作为支撑。

AI工控机——晶圆检测系统的“计算核心”

针对半导体制造中的高精度、高算力需求，研祥智能推出半导体晶圆缺陷检测方案。该方案基于X86工控机+AI+算法架构，通过AI算法对晶圆图像进行分析，实现缺陷快速定位和分类，满足工业生产中的实时检测需求。

其中，研祥智能MGP-800作为检测检测系统的“计算核心”，负责图像采集、数据处理以及设备协同控制。

1.高性能计算，加速AI缺陷识别

搭载高性能CPU+GPU，可支持深度学习缺陷分类，对AOI光学检测、电子显微镜采集的海量图像数据进行实时处理，纳米级缺陷快速抓取，不卡顿、不延迟。

2.扩展灵活，满足多设备接入

支持PCIe x16高速扩展，可同时接入高分辨率相机、电子束检测模块，实现多通道图像采集并行，数据吞吐不设限。

3.工业设计，扛得住严苛产线

支持-20℃~60℃宽温运行，满足半导体工厂严苛环境要求;兼容OpenVINO/TensorRT加速框架，可选配GPU模组，为检测算法优化提供持续算力支持。

半导体制造过程中，缺陷检测决定着生产效率和产品良率。研祥智能MGP-800工业AI计算机，将AI能力融入晶圆检测环节，为半导体制造提供可靠的算力底座。

(责任编辑：综合)